氦氣泄漏檢測的方法——容大檢測

氦氣泄漏檢測是一種極其靈敏且廣泛應用的無損檢測技術，主要用于查找各種密封系統(tǒng)（從微型電子元件到大型工業(yè)設備）中的微小泄漏點。

一、檢測方法

真空噴氦法（內向檢漏法）

原理：被測件內部抽真空（≤5×10?³ Pa），外部噴氦氣；漏點處氦氣被吸入質譜儀檢測。

適用場景：可抽真空的封閉系統(tǒng)（如真空腔體、半導體設備）。

靈敏度：最高達5×10?¹³ Pa·m³/s。

吸槍法（外向檢漏法）

原理：被測件內部充氦氣（壓力0.1–0.3 MPa），外部用吸槍掃描捕獲逸出氦氣。

適用場景：大型設備（如儲罐）、帶壓系統(tǒng)或不可抽真空部件。

限制：環(huán)境氦背景需低于10?? Pa，掃描速度≤25 mm/s。

累積法（罩罩法）

原理：充氦工件外罩密閉腔體，累積泄漏氦氣后采樣分析。

適用場景：微小泄漏檢測（如核燃料棒、醫(yī)療器械）。

靈敏度：最小可測漏率1×10?? mbar·L/s。

進階技術

背壓法：工件高壓氦浸泡后轉入真空室測量逸出量。 多探頭同步監(jiān)測：128通道并行采集，提升效率。

二、標準規(guī)范

容大檢測成立于2008年，是一家專業(yè)第三方研究機構，擁有CMA和CNAS雙重資質。秉承“科學，公正、創(chuàng)新、高效”的質量方針，容大檢測為您提供氦氣泄漏檢測測試服務。

涉及測試：氦氣泄露檢測