氦泄漏測試的方法
(1) 噴霧法
將被檢體內(nèi)部抽空后,用噴槍噴射氦氣,檢測進(jìn)入到被檢體內(nèi)部的氦氣。
適用于尋找較小的泄漏點(diǎn),適用于尋找較小的泄漏點(diǎn)。如果需要量化測試對(duì)象的總泄漏量,罩法更合適。
(2) 真空罩法
在抽空被測物內(nèi)部、罩住被測物外部并在罩內(nèi)填充氦氣后,檢測進(jìn)入被測物的氦氣。
可以量化可疏散的測試對(duì)象的總泄漏量,但無法找到泄漏點(diǎn)。如果需要尋找泄漏點(diǎn),則噴霧法是合適的。
(3) 嗅探法
對(duì)被檢體加壓后,用連接在LD上的吸槍探查從泄漏點(diǎn)流出的氦氣。
在以下情況下尋找泄漏點(diǎn)的有效方法。
在比大氣壓高的壓力下進(jìn)行測試的情況。
由于測試對(duì)象的復(fù)雜形狀無法遮蓋的情況。
通過壓力累積法檢測到大泄漏后發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)的情況。
(4) 蓄壓法
用氦氣對(duì)被測物加壓并用罩蓋住被測物后,用連接到LD的嗅探探頭嗅探,捕捉和檢測從泄漏點(diǎn)流出的氦。
由于泄漏的氦氣積累了一定時(shí)間,增加了氦濃度,比嗅探法更容易檢測到小泄漏。此外,還適用于比大氣壓更高的壓力下的高精度泄漏測試。
(5) 吸盤法
部分疏散測試對(duì)象。
適用于大型真空容器或其他因制造工藝或產(chǎn)品條件等原因無法進(jìn)行全身抽真空或加壓的壓力容器。
應(yīng)用示例
檢查大型真空容器的制造過程。
查找區(qū)域泄漏。
(6) 鐘罩法
用氦氣對(duì)被檢體內(nèi)部加壓(大氣壓以上),將被檢體放入試驗(yàn)室并抽空后進(jìn)行泄漏檢測。
檢測靈敏度與真空法一樣高,適用于與吸槍法或蓄壓法(壓力法)相比,需要更高的檢測靈敏度的場合。但不可能找到泄漏點(diǎn),需要另一種方法找到泄漏點(diǎn)。
(7) 轟炸方法
將試驗(yàn)對(duì)象放入爆炸罐中,用氦氣加壓并保持一定時(shí)間后,將其撿起,放入試驗(yàn)室并撤離。用氦氣加壓時(shí),如果測試對(duì)象有泄漏,一些氦氣會(huì)進(jìn)入測試對(duì)象,它們會(huì)進(jìn)入室內(nèi)。來檢測它。
用于判斷內(nèi)部為真空或充滿空氣或某種氣體的密閉容器(封裝IC、石英振蕩器等)的密封性或氣密性的方法。
(8) 任意壓力法
ULVAC針對(duì)低壓電阻產(chǎn)品開發(fā)的應(yīng)用,已在各個(gè)領(lǐng)域得到驗(yàn)證??梢赃M(jìn)行高精度和高速測試。
由一個(gè)泵送系統(tǒng)組成,類似于在吸槍法中使用的帶有輔助泵的泵送系統(tǒng)??梢栽诒?nbsp;LD 連接壓力更高的壓力下進(jìn)行測試。試驗(yàn)壓力任意可調(diào)。
封閉物件申請(qǐng):藥品包裝、醫(yī)用包裝等。
散開法應(yīng)用:低壓電阻容器等。
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